半導體生產設備有哪些?
發(fā)布日期:2021-03-05
半導體生產設備有哪些?
一顆小小集成ic,從設計方案到生產制造,依照全產業(yè)鏈階段區(qū)劃,能夠分成 IC 設計方案、原材料、晶圓代工、機器設備、封裝測試五個行業(yè)。 關鍵有:
單晶爐:熔化半導體原材料,拉單晶,為事后半導體元器件生產制造,出示單晶體的半導體晶坯。
氣相外延性爐:為氣相外延性生長發(fā)育出示特殊的加工工藝自然環(huán)境,完成在單晶上,生長發(fā)育與單晶晶相具備對應關系的層析結晶,為單晶沉下去完成作用變作基本提前準備。氣相外延性即有機化學氣相堆積的一種獨特加工工藝,其生長發(fā)育層析的分子結構是單晶襯底的持續(xù),并且與襯底的晶向維持相匹配的關聯。
空氣氧化爐:為半導體原材料開展空氣氧化解決,出示規(guī)定的空氣氧化氣氛,完成半導體預估設計方案的空氣氧化處理方式,是半導體生產過程的不能缺乏的一個階段。
磁控濺射臺:根據二極磁控濺射中一個平行面于靶表面的封閉式電磁場,和靶表面上產生的正交和磁場,把二次電子拘束在靶表面特殊地區(qū),完成高離子相對密度和高效率能量的水解,把靶分子或分子結構高速傳輸磁控濺射堆積在襯底上產生塑料薄膜。
光刻技術:在半導體板材上(硅片)表面勻膠,將掩免費模板上的圖型遷移光刻技術上,把元器件或電源電路構造臨時性“拷貝”到硅片上。
反映離子離子注入系統軟件:平板電腦電級間釋放高頻率工作電壓,造成百余μm厚的離子層,放進款式,離子髙速碰撞款式,完成化學變化離子注入和物理學碰撞,完成半導體的生產加工成形。
離子引入機:對半導體表面周邊地區(qū)開展夾雜。
探針測試臺:根據探頭與半導體元器件的pad觸碰,開展電力學檢測,檢驗半導體的性能參數是不是合乎設計方案特性規(guī)定。
圓晶劃片機:把圓晶,切成小塊的Die。
等等......
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