勻膠顯影機(jī)一般由四部分組成。第一部分是晶圓盒工作站，晶圓盒在這里裝載到機(jī)器上。機(jī)械手從晶圓盒中把晶圓抽出來，傳送到工藝處理部分，即第二部分。工藝處理部分是勻膠顯影機(jī)的主體，增粘模塊，熱盤、冷盤、旋涂、顯影等首要工藝單元都安裝在這里，一個(gè)或兩個(gè)機(jī)械手在各單元之間傳遞晶圓。第三部分是為浸沒式光刻工藝配套的單元，包含晶圓外表水沖刷單元、背清洗單元等。第四部分是和光刻機(jī)聯(lián)機(jī)的接口界面，包含暫時(shí)儲(chǔ)存晶圓的緩沖盒、晶圓邊緣曝光和光刻機(jī)交流晶圓的接口等。

昆山康達(dá)斯機(jī)械設(shè)備有限公司是一家為生產(chǎn)制造企業(yè)提供智能制造系統(tǒng)的規(guī)劃設(shè)計(jì)、系統(tǒng)集成、軟件開發(fā)、設(shè)備定制、電控系統(tǒng)開發(fā)、現(xiàn)場(chǎng)安裝調(diào)試、客戶培訓(xùn)和售后服務(wù)等一系列業(yè)務(wù)。是一家集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、和安裝調(diào)試于一體的非標(biāo)設(shè)備供應(yīng)商，系統(tǒng)方案廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、汽車零部件、電子、醫(yī)療器械等行業(yè)。 歡迎有意向的朋友來電洽談